變溫鐵電材料測試系統

FETS-2000是一款擴展靈活的變溫鐵電材料測試系統，也是一款可替代德國aixACCT公司生產的TF Analyzer 2000鐵電分析儀的國產鐵電材料性能測試設備，可廣泛地應用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜、體材料和電子陶瓷、鐵電傳感器/執行器/存儲器等領域的研究。

鐵電參數測試主要性能指標：

a. 外接5 kV高壓放大器（可擴展至10 kV）（國產、進口均適用）；

b. 動態電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 5 kHz；

c. 最大電荷解析度：10 mC（可擴展）；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負載電容1 nF）；

e. 漏電流測量范圍 1 pA ～ 20 mA（可擴展），分辨率0.1 pA；

f. 配有高壓擊穿保護模塊；

g.溫度范圍：-160℃～260℃。

本測試系統由主控器、高壓放大器、變溫綜合測試平臺（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺（配高壓探針）、計算機及系統軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發生器、內置驅動電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數轉換器、通訊總線等功能，主控器提供擴展外置高壓放大器接口，可擴展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統軟件包括可視化數據采集和管理功能，測試時，無需改變測試樣品的連接，即可實現滯回，脈沖，漏電，IV等性能測試。

本測試系統鐵電性能測試采用基于虛地模式的測量方法，與傳統的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環節，容易定標和校準，并且能實現較高的測量準確度。

變溫鐵電材料測試系統采用模塊化設計，不同的模塊對應不同的電特性測量。

標配版鐵電模塊測試功能：

動態電滯回線DHM

靜態電滯回線SHM

I-V特性

脈沖PUND    

疲勞Fatigue

變溫測試THM

增強版鐵電模塊測試功能：

動態電滯回線DHM

靜態電滯回線SHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

電擊穿強度BDM    

漏電流LM

電流-偏壓

保持力RM

印跡印痕IM

變溫測試THM

可選的模塊：

POM 模塊實現極化測量功能

CVM模塊實現小信號電容測試，獲得C-V曲線

PZM模塊實現壓電特性測試

DPM模塊測試介電性能

RTM模塊測試電阻/電阻率性能

CCDM模塊實現電容充放電測試。